CYMER DÉVOILE LE NOUVEAU LASER À EXCIMÈRES À FLUORURE DE KRYPTON ELS-6010 POUR LA LITHOGRAPHIE DUV DE PROCHAINE GÉNÉRATION DE GÉOMÉTRIES DE 130 NM ET MOINS

04 Avril, 2000, 16:34 BST de Cymer

  • Premier laser DUV qui produise un taux de répétition de 2500Hz

San Diego - Cymer, Inc. (CYMI au Nasdaq), chef de file mondial des fournisseurs de sources de luminescence par laser à excimères pour les photolithographies à l'ultraviolet à courte longueur d'onde, a dévoilé aujourd'hui la toute dernière addition à sa gamme perfectionnée de source de lumière pour lithographie de pointe, le ELS-6010. Un fonctionnement à 2500 Hz fait du ELS-6010 le laser à production de fluorure de krypton au taux de répétition le plus élevé au monde. Le ELS-6010 confirme le leadership de Cymer dans les produits de 248 nm de longueur d'onde et sera un élément clé dans la production de dispositifs de prochaine génération ayant des règles de conception de 130 nm (0,13 micron) et moins.

Selon Pascal Didier, premier vice-président, service à la clientèle internationale, Cymer, la tendance en augmentation des besoins de semiconducteurs complexes pour alimenter l'électronique grand public se poursuit et exige des circuits d'imagerie supérieurs en capacités de longueur d'ondes extrêmement courtes. «ELS-6010 permettra aux fabricants de puces de suivre le rythme de la demande pour des semiconducteurs plus petits, plus rapides et plus intelligents en proposant la source d'illumination essentielle dans l'imagerie de largeurs spectrales réduites associée à ces puissantes puces. L'expertise de Cymer dans la technologie en longueur d'ondes de 248 nm n'est plus à démontrer. Associée a un service des plus complets et à une infrastructure de soutien qui couvre plus de 35 emplacements de par le monde, cette technologie permet à la Société de mieux asseoir sa position en tant que chef de file de l'industrie et fournisseur privilégié de solutions de pointe en matière de source de lumière, affirme M. Didier.»

ELS-6010, né de la technologie de pointe du ELS-6000, est conçu pour offrir des capacités d'imagerie de 200 mm et de 300 mm aux steppeurs et aux scanneurs de lithographie dotés d'objectifs d'une ouverture numérique de >0,7. Le ELS-6010 offre un plus haut niveau de rendement spectral grâce à une largeur de raie très réduite, moins de ou égale à 0,5 pm à pleine largeur mi-maximum et moins de ou égale à 1,4 pm à 95 pour cent d'énergie intégrale et fournit une amélioration considérable avec un rendement stable de moins de ou égal à +/-0,35 pour cent.

Les nombreux progrès technologiques du ELS-6010, notamment un nouveau bloc d'alimentation électrique à haut voltage, un logement de décharge laser et un module de stabilisation de longueur d'ondes, en font le laser à ultraviolet à courte longueur d'ondes qui produit le taux de répétition le plus élevé au monde. Comparé aux lasers 2000 Hz, le ELS-6010 2500 Hz donne 25 pour cent plus de pulsations en une seule exposition ce qui améliore la stabilité de la dose d'énergie de la micro-plaquette et un meilleur contrôle de dimension critique et finalement un meilleur rendement. De plus, grâce à sa gestion thermique améliorée, le ELS-6010 peut fournir une puissance de 20 watts pour une mise sous tension illimitée.

La direction de Cymer discutera des bénéfices qu'apporte le ELS-6010 au kiosque A3.174 au SEMICON Europa, qui se déroulera du 4 au 6 avril, au New Munich Trade Fair Centre de Munich, Allemagne.

Cymer, Inc. est le chef de file mondial des fournisseurs de sources de luminescence par laser à excimères, source de lumière essentielle pour les systèmes de photolithographie à ultraviolet à courte longueur d'ondes. La lithographie à ultraviolet à courte longueur d'ondes est une technologie de pointe qui a permis à l'industrie des semiconducteurs de répondre aux spécifications exactes et aux exigences de fabrication pour une production à gros volume de micro-plaquettes semi-conductrices perfectionnées. Cymer vient d'annoncer l'installation de son millième laser à ultraviolets en production chez un fabricant de puces. Vous pouvez obtenir un complément d'information sur Cymer dans les documents que la Société dépose à la SEC, sur le site Internet - http://www.cymer.com ou en communiquant directement avec la Société.

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SOURCE Cymer