Unity-SC beweist mit VCSEL-Großhersteller einzigartige Fähigkeit zur Erkennung nicht-streuender potenzieller Defekte auf GaAs Substraten
Gemeinsam mit einem Schlüsselakteur im VCSEL-Markt konnte Unity-SC seine Renditen verbessern indem defekte Wafer, die nur durch LIGHTsEE PSD™ sichtbar gemacht werden konnten, aussortiert wurden.
Wenn diese Mängel nicht erkannt werden, können sie später im Prozess oder nach der Lieferung des Systems zu Fehlern führen.
GRENOBLE, Frankreich, 18. Juli 2019 /PRNewswire/ -- Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser (VCSEL) erregten in den letzten zehn Jahren ein zunehmendes Interesse in vielen Bereichen aufgrund ihrer einzigartigen optischen und elektrischen Eigenschaften, verbunden mit ihren hohen Vorteilen in Bezug auf Inline-Prüfung und Herstellbarkeit. Sie basieren hauptsächlich auf GaAs-Wafern für Rot- bis IR-Wellenlängen und werden häufig in Lidar- und 3D-Objekterkennung eingesetzt. Dank Anwendung in der Automobilindustrie wächst der Lidar-Markt schnell, ebenso wie der Bedarf an störungsfreien Geräten. Da Smartphone-Hersteller außerdem solche Sensoren zur Gesichtserkennung einbetten, stellt die 3D-Sensorik einen sehr großen Markt dar. Daher wächst der Bedarf an qualitativ hochwertigen und zuverlässigen GaAs-Prüfsystemen ständig.
Neben den gängigen Surface Scanning Inspection Systems (SSIS) und Automatic Optical Inspection (AOI) Systemen zeigte UnitySC seine einzigartige Fähigkeit, ansonsten unsichtbare topografische Defekte zu erkennen. Diese Fehler sind bei herkömmlichen optischen Inspektionssystemen nicht sichtbar, da sie kein Licht streuen oder absorbieren und nur durch ihre Topographie sichtbar sind. Sie haben zwar wenig Einfluss auf die strukturelle Qualität des Substrats selbst, können aber später im Prozess zu einem Geräteausfall führen. So können beispielsweise bei der Herstellung der Bragg-Gitterreflektoren diese topografischen Defekte zu einer falschen Bragg-Periode oder in Einzelfällen zu spannungsinduzierten Rissen führen. Diese Ausfälle können während des Prozesses oder nach der Lieferung des Systems unter Hitze- oder Spannungsbedingungen auftreten, was zu einem Systemausfall führt.
Dank der in die LIGHTsEE™ Serie integrierten Phase Shift Deflectometry Technology (PSD) können diese Defekte leicht erkannt werden. Die PSD bietet eine vollständige, berührungslose Hochdurchsatzlösung zur Messung der Waferdicke mit einer Höhenempfindlichkeit von unter 5 nm. Da die Erfassung ohne Bewegung des Substrats erfolgt, ist sie spannungsfrei und kompatibel mit jedem empfindlichen Substrat.
Diese Technologie wurde mit einem großen VCSEL-Hersteller demonstriert und zeigte eine Verbesserung der Renditen und eine Verringerung der Geräteausfälle durch systematische Unterdrückung von Matrizen, die von solchen Defekten betroffen sind. Durch den Einsatz der PSD in der Eingangsqualitätskontrolle können VCSEL-Hersteller daher ihre Rendite weiter steigern und ihre Lieferkette verbessern.
Informationen zu UnitySC
UnitySC mit Hauptsitz in Montbonnot, Frankreich, ist weltweit als Schlüsselakteur in der Inspektion und Messtechnik anerkannt und kombiniert fortschrittliche Technologien in der automatisierten optischen Inspektion und 3D-Bildgebung mit hoher Tiefenschärfe, Zeitmodus-Interferometrie, Spektrometrie und Phasenverschiebungsanalyse. Dies ermöglicht es den Kunden, höhere Renditen zu erzielen und eine schnellere Markteinführung zu erreichen. Wir bieten Standard- und kundenspezifische Lösungen, die an die spezifischen industriellen Anforderungen und Einschränkungen angepasst sind und eine neue Ära in der Prozesssteuerung ermöglichen. Weitere Informationen finden Sie unter unity-sc.com.
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38330 MONTBONNOT SAINT-MARTIN (Frankreich)
Tel. 33-(0)-4-56-52-68-00 - F. 33-(0)-4-56-52-68-01
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