Imec trình làng công nghệ chế tạo các lỗ nano thể rắn đầu tiên trên tấm wafer sử dụng phương pháp quang khắc EUV
Một bước đột phá cho phép đưa các ứng dụng của cảm biến sinh học có khả năng mở rộng và có độ chính xác cao vào khoa học sự sống và chăm sóc sức khỏe
LEUVEN, Bỉ, ngày 9 tháng 12 năm 2025 /PRNewswire/ --
- Imec là công ty đầu tiên chế tạo thành công các lỗ nano thể rắn trên tấm wafer bằng cách áp dụng biện pháp quang khắc EUV trên các tấm wafer 300mm. Bước tiến này đưa công nghệ nanopore từ một khái niệm trong phòng thí nghiệm thành một nền tảng có khả năng mở rộng và ứng dụng trong các hoạt động về cảm biến sinh học, nghiên cứu bộ gen và nghiên cứu hệ protein.
- Nanopore được ca ngợi là công nghệ đột phá trong lĩnh vực nghiên cứu bộ gen và hệ protein, nhưng cho đến nay, nanopore thể rắn chưa bao giờ được sản xuất hàng loạt do sự đa dạng và khả biến đổi nhanh chóng cũng như những thách thức đặt ra khi ứng dụng vào thực tiễn. Bước đột phá của Imec mở đường phát triển cho những mảng hoạt động về cảm biến sinh học tương thích với CMOS, cho thông lượng cao, có khả năng đẩy nhanh y học cá thể hóa, chẩn đoán nhanh và lưu trữ dữ liệu phân tử.
- Được chế tạo bằng phương pháp quang khắc EUV trên các tấm wafer kích thước 300mm có lỗ nano nhỏ tới ~10 nm với độ đồng đều cao trên toàn bộ tấm. Quá trình chế tạo hứa hẹn đạt được kích thước lỗ dưới 5nm với nhiều cải tiến hơn nữa cho phép triển khai các kỹ thuật tích hợp. Đặc tính chuyển vị điện và phân tử sinh học cho thấy tỷ lệ tín hiệu trên nhiễu cao, cụ thể đạt mức 6,2.
- "Imec có vị thế độc nhất để thực hiện bước nhảy vọt này. Chúng tôi có thể áp dụng công nghệ quang khắc EUV - vốn thường được sử dụng chủ yếu trong bộ nhớ và logic - vào khoa học sự sống. Bằng cách tận dụng cơ sở hạ tầng quang khắc, chúng tôi đã chứng minh rằng các lỗ nano thể rắn có thể được chế tạo ở quy mô lớn với độ chính xác cần thiết để ứng dụng trong cảm biến phân tử", Ashesh Ray Chaudhuri, tác giả chính và quảy lý dự án R&D tại imec, cho biết. "Điều này mở ra cánh cửa ứng dụng mới cho các mảng cảm biến sinh học thông lượng cao phục vụ chăm sóc sức khỏe cùng nhiều ứng dụng khác."
Giới thiệu về imec
Imec là trung tâm nghiên cứu và đổi mới hàng đầu thế giới về công nghệ bán dẫn tiên tiến. Tận dụng cơ sở hạ tầng R&D hiện đại tối tân và chuyên môn sâu rộng của đội ngũ hơn 6.500 nhân sự, imec thúc đẩy đổi mới trong lĩnh vực bán dẫn và mở rộng hệ thống, trí tuệ nhân tạo, quang tử silicon, kết nối và cảm biến.
Hoạt động nghiên cứu tiên tiến của Imec thúc đẩy những đột phá trong nhiều ngành công nghiệp như công nghệ máy tính, y tế, ô tô, năng lượng, thông tin giải trí, công nghiệp, nông sản thực phẩm và an ninh. Thông qua IC-Link, imec hướng dẫn các công ty qua từng bước của hành trình sản xuất chip - từ hình thành ý tưởng ban đầu đến sản xuất quy mô lớn - cung cấp các giải pháp tùy chỉnh nhằm đáp ứng nhu cầu thiết kế và sản xuất tiên tiến nhất.
Imec hợp tác với các công ty hàng đầu thế giới hoạt động trong chuỗi giá trị bán dẫn cũng như các công ty công nghệ, công ty khởi nghiệp, học viện và viện nghiên cứu tại vùng Flanders và trên toàn cầu. Với trụ sở chính đặt tại Leuven, Bỉ, imec có các cơ sở nghiên cứu tại Bỉ, Châu Âu và Hoa Kỳ, và có văn phòng đại diện tại ba châu lục. Năm 2024, imec báo cáo doanh thu 1,034 tỷ euro. Để biết thêm thông tin, vui lòng truy cập www.imec-int.com
Thông cáo báo chí đầy đủ: https://www.imec-int.com/en/press/imec-demonstrates-first-wafer-scale-fabrication-solid-state-nanopores-using-euv-lithography
SOURCE Imec
Chia sẻ bài viết này