REVASUM (ASX: RVS) sichert sich eine Absichtserklärung zum Kauf eines 6EZ Siliziumkarbid CMP-Systems von SENIC, einem führenden Unternehmen für die Herstellung von Siliziumkarbid-Substraten in Cheonan, Südkorea

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SAN LUIS OBISPO, Kalifornien, 28. Juli 2023 /PRNewswire/ -- Dieser geplante Kauf, der im vierten Quartal 2023 an Senic ausgeliefert werden soll, stärkt die Position der 6EZ als die flexibelste chemisch-mechanische Planarisierungs-Plattform (Chemical Mechanical Polishing, CMP), die für die Herstellung von Siliziumkarbid (SiC)-Substraten und die Fertigung von Bauelementen wie SiC-basierten MOSFETs verfügbar ist.

Mit der kürzlich erfolgten Freigabe des 200 mm messenden 6EZ-Umbausatzes kann das Gerät die Herstellung von 150 und 200 mm SiC-Substraten in der Senic-Anlage in Cheonan, Südkorea, unterstützen.

Das 6EZ CMP-System wurde zusammen mit der SiC-Poliermaschine 7AF-HMG von Revasum entwickelt, um Beschädigungen unterhalb der Oberfläche durch Polieren zu entfernen. Die 6EZ bietet minimale Gesamtdickenschwankungen (Total Thickness Variation, TTV) auf dem Wafer und eine Oberflächenrauheit (R_A) in der Größenordnung von 1,5 Angström.

Chris Sloan, Vizepräsident für den weltweiten Vertrieb und Marketing bei Revasum, kommentierte die sich entwickelnde Partnerschaft mit diesem strategischen Kunden in Südkorea wie folgt: ,,Dies ist ein wichtiger nächster Schritt für Revasum in der wirklich globalen Wettbewerbslandschaft der Herstellung von Siliziumkarbid-Substraten. Die Nachfrage nach Siliziumkarbid-Bauelementen zwingt die internationalen Lieferketten dazu, sich abzustimmen, um die Bemühungen zu unterstützen, und wir freuen uns, mit unserer branchenführenden 6EZ CMP-Plattform eine Partnerschaft mit dem innovativen Team von Senic einzugehen."

HerrJ.D. Seo, Senics Vizepräsident des Geschäftsbereichs Halbleiter erklärte dazu: ,,Wir glauben, dass diese Partnerschaft positive Synergien zwischen den beiden Unternehmen schaffen wird. Durch das 6EZ CMP-System von Revasum wird Senic in der Lage sein, seinen Kunden SiC-Wafer mit besserer Oberflächenqualität zu liefern. Da sich das 6EZ bereits in der Herstellung von Siliziumkarbid-Substraten bewährt hat, sind wir der Meinung, dass das 6EZ-System die beste Option für Senic ist, um unsere Produktion steigern und somit den globalen Anforderungen der Branche gerecht zu werden."

Informationen zu Revasum, Inc.:
Revasum (https://www.revasum.com) stellt Investitionsgüter für die Halbleiterherstellung her. Unser aktuelles Produktportfolio umfasst Polier- und chemische mechanische Polierausrüstung zur Herstellung von Siliziumkarbid-Substraten sowie Geräte für die weltweite Halbleiterindustrie.

Informationen zu SENIC, Inc
SENIC (http://www.senic.co.kr) ist ein weltweit tätiges Unternehmen, das innovative Siliziumkarbid-Wafer herstellt und seinen Sitz in Cheonan in Südkorea hat. Das Unternehmen stellt 150 mm und 200 mm messende Siliziumkarbid (SiC)-Ingots und -Substrate für HF und Power Electronics sowie Aufbereitungsdienste für SiC-Wafer bereit.

Medienkontakt:
Bruce Ray
[email protected]

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