Imec demonstriert erstmals die Herstellung von Festkörper-Nanoporen im Wafer-Maßstab mittels EUV-Lithografie
Durchbruch ermöglicht skalierbare, hochpräzise Biosensorik-Anwendungen in den Bereichen Biowissenschaften und Gesundheitswesen
LEUVEN, Belgien, 9. Dezember 2025 /PRNewswire/ --
- Imec hat erstmals erfolgreich die Herstellung von Festkörper-Nanoporen im Wafer-Maßstab unter Verwendung der EUV-Lithografie auf 300-mm-Wafern realisiert. Diese Innovation verwandelt die Nanoporen-Technologie von einem Konzept im Labormaßstab in eine skalierbare Plattform für Biosensorik, Genomik und Proteomik.
- Nanoporen gelten als bahnbrechende Innovation für die Genomik und Proteomik, doch aufgrund von Variabilitäts- und Integrationsproblemen wurden Festkörper-Nanoporen bisher nie in Serie hergestellt. Der Durchbruch von Imec ebnet den Weg für CMOS-kompatible Biosensor-Arrays mit hohem Durchsatz, die die personalisierte Medizin, die Schnelldiagnostik und die molekulare Datenspeicherung beschleunigen könnten.
- Wafer-Skala-Fertigung unter Verwendung von EUV-Lithografie auf 300-mm-Wafern von Nanoporen mit einer Größe von nur ~10 nm und hoher Gleichmäßigkeit über den gesamten Wafer. Der Herstellungsprozess ist vielversprechend für die Erzielung von Porengrößen unter 5 nm mit weiteren Verbesserungen der Prozessintegrationstechniken. Die Charakterisierung der elektrischen und biomolekularen Translokation ergab ein hohes Signal-Rausch-Verhältnis von 6,2.
- „Imec ist einzigartig positioniert, um diesen Sprung zu schaffen. Wir können die EUV-Lithografie, die traditionell für Speicher und Logik reserviert ist, auf die Biowissenschaften anwenden. Durch die Nutzung unserer Lithografie-Infrastruktur haben wir gezeigt, dass Festkörper-Nanoporen in der für die Molekülsensorik erforderlichen Präzision in großem Maßstab hergestellt werden können", sagte Ashesh Ray Chaudhuri, Erstautor und F&E-Projektmanager bei imec. „Dies öffnet die Tür zu Biosensor-Arrays mit hohem Durchsatz für das Gesundheitswesen und darüber hinaus."
Informationen zu imec
Imec ist ein weltweit führendes Forschungs- und Innovationszentrum für moderne Halbleitertechnologien. Mit seiner hochmodernen F&E-Infrastruktur und dem Fachwissen von über 6.500 Mitarbeitern treibt imec Innovationen in den Bereichen Halbleiter- und Systemskalierung, künstliche Intelligenz, Siliziumphotonik, Konnektivität und Sensorik voran.
Die fortschrittliche Forschung von Imec ermöglicht Durchbrüche in einer Vielzahl von Branchen, darunter Computer, Gesundheit, Automobil, Energie, Infotainment, Industrie, Agrar- und Lebensmittel sowie Sicherheit. Über IC-Link begleitet imec Unternehmen bei jedem Schritt der Chip-Entwicklung – vom ersten Konzept bis zur Serienfertigung – und liefert maßgeschneiderte Lösungen, die auf die anspruchsvollsten Design- und Produktionsanforderungen zugeschnitten sind.
Imec arbeitet mit weltweit führenden Unternehmen entlang der gesamten Halbleiter-Wertschöpfungskette sowie mit Technologieunternehmen, Start-ups, Hochschulen und Forschungseinrichtungen in Flandern und weltweit zusammen. Imec hat seinen Hauptsitz in Leuven, Belgien, und verfügt über Forschungseinrichtungen in Belgien, Europa und den USA sowie Vertretungen auf drei Kontinenten. Im Jahr 2024 verzeichnete imec einen Umsatz von 1,034 Milliarden Euro. Weitere Informationen finden Sie unter www.imec-int.com
Vollständige Pressemitteilung: https://www.imec-int.com/en/press/imec-demonstrates-first-wafer-scale-fabrication-solid-state-nanopores-using-euv-lithography
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