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Manz Asia、世界初の310mm×310mmパネルレベルパッケージング用ECD生産システムの納入に成功

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Manz Asia

16 6月, 2026, 16:02 JST

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  • 世界初の310mm×310mmパネルレベルパッケージング(PLP)用電気化学堆積(ECD)生産システムを顧客の生産ラインに納入
  • Omni xシリーズは、310mm、510mm、700mmのプラットフォームを網羅し、幅広いパネルレベル製造用途に対応します。
  • AI、HPC、先進メモリ市場向けのFOPLP、CoPoS、TGV用途に対応

桃園、2026年6月16日 /PRNewswire/ -- 半導体先進パッケージング装置の大手メーカーであるManz Asiaは、世界初の310mm×310mmパネルレベルパッケージング(PLP)用電気化学堆積(ECD)量産システムの納入に成功しました。このシステムは、Manz Asiaの先進パッケージング製品群を拡充するとともに、プロセス革新、装置エンジニアリング、量産にわたり、同社が社内に有する総合的な専門性を示すものです。

新しいECDプラットフォームは、ガラス製および金属製の角型キャリアの両方に対応できる高い柔軟性を備えて設計されており、再配線層(RDL)形成用の湿式化学プロセスモジュールを統合しています。FOPLP、CoPoS、TGVベースの先進パッケージングアーキテクチャ向けに設計されています。310mm×310mmのサイズは、拡張性、パネル利用率、生産歩留まりの面で利点があり、AI、高性能コンピューティング(HPC)、高帯域幅メモリ(HBM)、高速インターコネクト用途を支えるパネルレベルパッケージングの重要な基盤技術として位置付けられています。

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Manz Asia World’s First 310mm × 310mm Panel-Level Packaging ECD Production System
Manz Asia World’s First 310mm × 310mm Panel-Level Packaging ECD Production System

先進パッケージングは、最先端の半導体プロセス技術との融合がますます進んでおり、その生産能力は台湾に徐々に集中しつつあります。この変化により、世界の半導体サプライチェーンにおいて、プロセスノードとパッケージングアーキテクチャをまたぐ統合が加速しています。Manz Asiaは、強力な社内研究開発能力と、主要なIDMおよびパッケージング顧客との緊密な連携を活かし、技術改良と量産展開を加速させ続けており、世界のパネルレベルパッケージング装置エコシステムにおける地位を強化しています。

ECDシステムは、洗浄、現像、エッチング、剥離を含む一連の湿式化学プロセスモジュールをシームレスに統合し、スピン処理とスプレー処理の両モードに対応することで、「Omni 310x」プラットフォームのもとで包括的な310mm×310mmパネルレベルRDL製造ソリューションを実現します。

Omni xシリーズは現在、Omni 310x(310mm×310mm)、Omni 510x(510mm×515mm)、Omni 700x(700mm×700mm)を網羅し、パネルレベル量産向けの拡張可能なプラットフォームアーキテクチャを形成しています。このモジュール式システム設計により、さまざまなデバイスアーキテクチャ、プロセスフロー、生産能力要件に応じた柔軟な構成が可能となり、開発、認定評価、パイロット生産、量産をサポートします。これにより、Manz Asiaは世界の先進パッケージング装置市場における競争力を強化します。

Manz Asiaの最高経営責任者(CEO)であるRobert Lin氏は、Omni 310xが顧客の生産ラインに順調に導入されたことは、柔軟性と量産対応力を兼ね備えた先進パッケージングプラットフォームに対する市場需要の高まりを反映していると述べました。「先進パッケージングがAIおよび高性能コンピューティング(HPC)アーキテクチャにおいてますます中核的な役割を担うようになる中、プロセス制御、拡張性、量産環境への円滑な統合といった能力が、重要な競争上の差別化要因となっています」と同氏は述べました。

さらに同氏は、Manz Asiaが世界水準の装置サプライヤーとして技術ロードマップを推進し続け、ECD技術と湿式化学プロセス技術の統合をさらに強化することで、製造効率と歩留まりの安定性を高め、量産立ち上げを加速させていくと付け加えました。「当社は、FOPLP、CoPoS、TGVにおける次世代パッケージング技術の導入を加速させるとともに、半導体エコシステム全体でサプライチェーンのレジリエンスを強化することを目指しています。310mm、510mm、700mmにわたるマルチプラットフォーム戦略を通じて、プロセス開発から量産まで一貫した技術的道筋を提供し、お客様が効率的かつ予測可能な形で規模を拡大できるよう支援します。Omni xシリーズのロードマップは、次世代半導体パッケージング用途向けに、持続可能で拡張性のある生産能力の拡大を支援するよう設計されています。」

Manz Asiaについて

Manz Asiaは、電気化学堆積(ECD)、湿式化学、デジタル印刷、自動化、ソフトウェア統合といった中核技術を基盤とする半導体製造装置およびソリューションを提供しています。当社の専門領域は、先進パッケージング(FOPLP/CoPoS)およびIC基板加工(ガラスコアおよび有機コア)を網羅しており、研究開発から量産までお客様をサポートしています。システムソリューション、受託製造、販売代理業務を通じて、急速に進化する半導体業界において、お客様が市場投入までの期間を短縮し、歩留まりを高め、競争力を維持できるよう支援します。

www.manz.com.tw/en

SOURCE Manz Asia

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