Tomocube lance le HT-T1 Desktop pour l'analyse 3D des défauts des substrats de verre dans le conditionnement avancé

• Fournit une analyse 3D non destructive de l'emplacement, de la morphologie et du profil de profondeur des défauts internes dans les substrats de verre.
• Présente TAMI, une plateforme logicielle dédiée à l'analyse 3D qui relie l'analyse R&D à l'inspection directement sur la ligne de production.
• Accélère l'analyse des causes profondes et l'optimisation du rendement (yield learning) pour les substrats de verre, un matériau clé pour le conditionnement avancé de nouvelle génération.

DAEJEON, Corée du Sud, 13 juillet 2026 /PRNewswire/ -- Tomocube, un leader de l'inspection non destructive et de la métrologie 3D, a annoncé aujourd'hui le lancement du HT-T1 Desktop (HT-T1D). Ce système d'holotomographie de bureau est conçu pour l'analyse 3D haute résolution des défauts des substrats de verre utilisés dans le conditionnement des semi-conducteurs de nouvelle génération.

Le HT-T1D est parfaitement optimisé pour les flux de travail d'inspection et de métrologie des substrats de verre. Lorsque les outils conventionnels d'inspection de panneaux en ligne, tels que les systèmes d'inspection optique automatisée (AOI), signalent un défaut potentiel, le HT-T1D récupère les coordonnées correspondantes et reconstruit l'intérieur du substrat de verre en trois dimensions. Il permet ainsi de révéler précisément l'emplacement, la morphologie et les caractéristiques de profondeur des défauts qu'une simple inspection de surface ne pourrait détecter.

Les substrats à cœur de verre (glass core substrates) et les interposeurs en verre suscitent un intérêt croissant en tant que matériaux clés pour les accélérateurs d'IA, la mémoire à large bande passante (HBM) et d'autres applications de conditionnement avancé. Cependant, alors que ces substrats entrent en phase de production de masse, les fabricants sont confrontés à des défis majeurs pour identifier les causes profondes des micro-défauts générés lors d'étapes complexes (perçage au laser, gravure, métallisation, découpe). Un seul défaut critique pouvant rendre une unité entière inutilisable, la capacité à transformer rapidement les données d'inspection en améliorations de processus est devenue essentielle pour garantir la stabilité de la ligne de production.

Le HT-T1D s'appuie sur la technologie innovante d'holotomographie en lumière visible de Tomocube pour visualiser la distribution tridimensionnelle de l'indice de réfraction à l'intérieur du verre, avec une sensibilité extrême de $10^{-4}$. La mesure étant totalement non destructive, le même emplacement peut être analysé de manière répétée au cours des étapes successives du processus. Cela permet aux utilisateurs de suivre en temps réel la formation, la propagation ou l'amplification d'un défaut. Ce système devrait ainsi réduire considérablement les cycles d'analyse des défauts — qui dépendaient traditionnellement d'analyses destructives —, faisant passer le temps d'analyse de plusieurs jours ou semaines à seulement quelques minutes, favorisant ainsi une intervention précoce avant les étapes en aval à coût élevé.

Parallèlement au matériel, Tomocube a également présenté TomoAnalysis MI (TAMI), une plateforme logicielle d'analyse 3D dédiée à la métrologie et à l'inspection. TAMI analyse quantitativement les données volumétriques de l'indice de réfraction 3D et génère des rapports structurés pour l'examen technique. Elle traite également, sous le même format, les données du HT-T1M (le futur module en ligne de Tomocube conçu pour être intégré par des partenaires systèmes), offrant ainsi un flux de travail unifié de la recherche en R&D jusqu'à l'inspection finale sur la ligne de production.

« Les substrats de verre s'imposent comme un matériau critique pour le conditionnement des semi-conducteurs de nouvelle génération, mais la véritable compétitivité en production de masse dépendra de la rapidité avec laquelle les fabricants pourront comprendre les défauts et traduire cette expertise en améliorations de processus », a déclaré YongKeun Park, président-directeur général de Tomocube. « Le HT-T1D va bien au-delà de la simple détection ; il aide les clients à identifier les causes profondes et à affiner précisément les conditions de fabrication. Nous sommes convaincus qu'il deviendra une plateforme de métrologie incontournable pour accélérer le yield learning dans la production de substrats de verre. »

Il a ajouté : « Cette même plateforme peut également s'appliquer aux substrats de verre photoniques intégrés pour l'optique co-packagée (CPO), où l'indice de réfraction affecte directement les performances du composant. Cela élargit son champ d'application au-delà de l'analyse des défauts vers des domaines exigeant une métrologie fonctionnelle. »

Avec le lancement du HT-T1D, Tomocube collaborera étroitement avec les fabricants de substrats de verre, les entreprises de conditionnement avancé et les partenaires d'intégration de systèmes pour optimiser les flux de travail liés à l'analyse 3D des défauts, à la révision des processus et à l'optimisation du rendement. L'entreprise continuera d'élargir son portefeuille de solutions d'inspection et de métrologie pour substrats de verre — y compris le futur déploiement de modules en ligne — afin de répondre à la demande mondiale croissante dans le secteur du conditionnement avancé de semi-conducteurs.

À propos de Tomocube

Tomocube (www.tomocube.com) développe des solutions innovantes d'inspection et de métrologie 3D non destructives basées sur l'holotomographie. S'appuyant sur une solide expertise en optique et en imagerie tridimensionnelle initialement consolidée dans la bio-imagerie, l'entreprise se développe avec succès sur les marchés industriels, notamment le conditionnement de semi-conducteurs, les écrans et les substrats de verre.

Déclarations prospectives

Ce communiqué de presse contient des déclarations prospectives, y compris des déclarations concernant les capacités attendues des produits, les applications clients potentielles, le futur déploiement en ligne, les opportunités de marché et les plans d'affaires de Tomocube. Ces déclarations sont basées sur des hypothèses et des attentes actuelles, et sont soumises à des risques et des incertitudes qui pourraient faire en sorte que les résultats réels diffèrent sensiblement. Tomocube n'assume aucune obligation de mettre à jour ces déclarations prospectives, sauf si la loi applicable l'exige.