韓国ソウル, 2025年2月20日 /PRNewswire/ -- 原子間力顕微鏡(AFM)の世界的リーダーであるパークシステムズは、SEMICON Korea 2025において、新しく展開されたFX Large Sample AFMシリーズを発表しました。SEMICON West 2024でデビューし、その後ドイツ、日本、韓国で強力な市場牽引力を獲得したPark FX200の成功に基づき、パークシステムズは、赤外（IR）分光法を統合し、大型サンプルAFM技術の限界を押し広げるPark FX200 IRおよびFX300 IRとともに、300mmウェハー分析用のPark FX300を発表します。
300mmウェハーが半導体業界の標準となる中、パークFX300は、全自動インラインシステムのような複雑さを伴うことなく、高精度な分析を求める企業向けに設計されています。また、インライン製造に移行する前にAFMの導入を検討している企業にとっても理想的なソリューションとなります。
産業用と研究用の両方に最適化されたPark FX300は、幅広いAFM技術において分析と品質管理のための高度な機能を提供し、革新的なものとなることが期待されています。半導体の後処理における銅パッドの長距離平坦度測定用のスライディングステージ、ウェハーレベルのパッケージングにおける正確なサンプルアライメント用のローテーションステージ、サンプルの可視化を強化するオフアクシス (Off-Axis) 光学系などの特殊機能を装備しています。さらに、ファンフィルターユニット（FFU）が、クリーンルームでの使用に最適な制御された汚染のない環境を提供します。
パークシステムズはまた、FX200 IRとFX300 IRを発表し、AFM技術をナノスケールの化学分析の領域に拡大しました。フーリエ変換赤外分光法（FTIR）をAFMと統合することにより、これらのモデルは光誘起力顕微鏡（PiFM）を利用し、5nm以下の空間分解能で化学物質の同定を可能にします。この画期的な技術により、研究者やエンジニアは、ウェハー表面にダメージを与えることなくナノスケール構造の化学組成を分析することができ、半導体、ポリマー、ライフサイエンス用途の材料特性評価に新たな可能性をもたらします。
FX200 IRとFX300 IRは、小型から200 mmまたは300 mmウェハーのサンプル用に設計されており、高解像度の赤外分光イメージングを可能にし、材料組成と分子間相互作用に関するこれまでにない洞察を提供します。超微細なスケールで化学結合情報を捉えることができるため、半導体欠陥分析、ポリマー研究、高度な材料特性評価を比類のない精度で向上させます。
手作業を最小限に抑えながら効率を最大化するというパークシステムズの哲学に根ざしたFX Large Sample AFMシリーズは、プローブの自動認識と交換、プローブの状態監視のためのQRコードシステム、シームレスな操作のためのAI駆動レーザーアライメントによって使いやすさを向上させています。StepScan™機能は、あらかじめ定義された座標での自動連続測定を可能にすることで効率をさらに高め、研究者は最小限の手作業でトポグラフィー、電気的、機械的、磁気的特性を解析することができます。特に、レーザーアライメントが大きな課題となりがちなIRアプリケーションにおいて、このシステムはプロセスを完全に自動化し、高解像度の化学分析をこれまで以上に身近なものにします。
パークシステムズのSang-Joon Cho専務は、同社の技術的リーダーシップへのコミットメントを強調した： 「精密測定と自動化におけるパークシステムズの数十年にわたる専門知識と技術革新を具現化するため、当社はFX大型サンプルAFMシリーズを産業と研究の両分野で最高レベルのウェハー分析用に最適化しました。パークFX300とナノIRシステムは、産業用と研究用AFMアプリケーションの境界を再定義し、お客様に最先端のAFMを提供することで、ナノサイエンスの未来を共に形成していきます。」
最新のイノベーションにより、パークシステムズは原子間力顕微鏡の世界的リーダーとしての地位を固め続け、常に進化し続ける半導体およびナノ科学研究の需要に業界をリードするソリューションを提供しています。
パークシステムズ株式会社について (KOSDAQ: 140860)
パークシステムズ社は、最高品質の原子間力顕微鏡（AFM）を製造するナノ計測ソリューションのパイオニアでありリーダーです。パークシステムズ社は、材料科学、物理学、化学、ライフサイエンス、半導体、データストレージなど、あらゆる科学分野、多様な分野の研究者やエンジニアとレガシーなプロフェッショナルな関係を築き、育成するという比類なきコミットメントを通じて、業界の競合他社とは一線を画しています。弊社の使命は、科学者やエンジニアのためにナノスケールのイノベーションを推進し、科学的発見を前進させることです。パークシステムズの顧客には、世界中のトップ半導体企業や研究大学が含まれます。韓国の水原に本社を置き、南北アメリカ、ヨーロッパ、アジアに地域オフィスを持つパークシステムズは、韓国証券取引所で株式公開されています。詳しくはwww.parksystems.comをご覧ください。
写真 - https://mma.prnewswire.com/media/2622432/FX_Large_Sample_Series_New_Park_Systems_Corp.jpg
ロゴ - https://mma.prnewswire.com/media/490994/Park_Systems_Logo.jpg
SOURCE Park Systems Corp.
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