Imec demuestra la primera fabricación a escala de oblea de nanoporos de estado sólido con el uso de litografía EUV
Este avance permite usos en biodetección escalables y de alta precisión en ciencias biológicas y cuidado de la salud
LOVAINA, Bélgica, 9 de diciembre de 2025 /PRNewswire/ --
- Imec logró la primera fabricación exitosa a escala de oblea de nanoporos de estado sólido con el uso de litografía ultravioleta extrema (EUV) en obleas de 300 mm. Esta innovación transforma la tecnología de nanoporos desde un concepto a escala de laboratorio hasta una plataforma escalable para biosensores, genómica y proteómica.
- Los nanoporos son un producto revolucionario en la genómica y la proteómica pero, hasta ahora, los nanoporos de estado sólido nunca se habían producido en forma masiva debido a la variabilidad y a las dificultades de integración. Este avance de Imec sienta las bases para conjuntos de biosensores compatibles con CMOS de alto rendimiento que podrían acelerar la medicina personalizada, el diagnóstico rápido y el almacenamiento de datos moleculares.
- Fabricación a escala de oblea con el uso de litografía EUV en obleas de 300 mm de nanoporos tan pequeños como ~10 nm con alta uniformidad en toda la oblea. El proceso de fabricación podría permitir tamaños de poro inferiores a 5 nm con mejoras adicionales en las técnicas de integración del proceso. La caracterización de la translocación eléctrica y biomolecular reveló una alta relación entre señal y ruido de 6,2.
- "Imec se encuentra en una posición única para lograr este avance. Podemos aplicar la litografía EUV, tradicionalmente reservada para la memoria y la lógica, a las ciencias biológicas. Al aprovechar nuestra infraestructura de litografía, hemos demostrado que los nanoporos de estado sólido se pueden fabricar a escala con la precisión necesaria para detección molecular", señaló Ashesh Ray Chaudhuri, primer autor y gerente de Proyectos de I + D de imec. "Esto abre las puertas a matrices de biosensores de alto rendimiento para la atención médica y más".
Acerca de imec
Imec es un centro de investigación e innovación líder a nivel mundial en tecnologías avanzadas de semiconductores. Al aprovechar su infraestructura de I+D de última generación y la experiencia de más de 6.500 empleados, imec impulsa la innovación en el ámbito de los semiconductores y el escalamiento de sistemas, la inteligencia artificial, la fotónica de silicio, la conectividad y la detección.
La investigación avanzada de Imec impulsa avances en una amplia variedad de sectores, como informática, salud, automotriz, energía, infoentretenimiento, industria, agroalimentación y seguridad. A través de IC-Link, imec guía a las empresas en cada paso del proceso de fabricación de chips, desde el concepto inicial hasta la producción a gran escala, al ofrecer soluciones personalizadas que se adaptan a las necesidades de diseño y producción más avanzadas.
Imec colabora con líderes mundiales en toda la cadena de valor de los semiconductores, así como con empresas de tecnología, empresas emergentes, instituciones académicas y de investigación en Flandes y en todo el mundo. imec, con sede en Lovaina, Bélgica, cuenta con instalaciones de investigación en Bélgica, Europa y Estados Unidos, así como con representación en tres continentes. En 2024, imec registró ingresos de 1.034 millones de euros. Para obtener más información, visite www.imec-int.com
Nota de prensa completa: https://www.imec-int.com/en/press/imec-demonstrates-first-wafer-scale-fabrication-solid-state-nanopores-using-euv-lithography
Logo - https://mma.prnewswire.com/media/2839859/imec_Logo.jpg
FUENTE Imec
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