Imec mendemonstrasikan pembuatan skala wafer pertama pada nanopori padat dengan menggunakan litografi EUV

Terobosan ini memungkinkan aplikasi biosensing presisi tinggi yang dapat ditingkatkan di bidang ilmu hayati dan perawatan kesehatan

LEUVEN, Belgia, 9 Desember 2025 /PRNewswire/ --

• Imec telah berhasil membuat skala wafer pertama pada nanopori padat dengan menggunakan litografi EUV pada wafer 300 mm. Inovasi ini mengubah teknologi nanopori dari konsep skala laboratorium menjadi platform yang dapat ditingkatkan untuk biosensing, genomik, dan proteomik.
• Nanopori dipuji sebagai gebrakan besar untuk genomik dan proteomik. Tapi hingga sekarang, nanopori padat tidak pernah diproduksi massal karena masalah variabilitas dan integrasi. Terobosan Imec membuka jalan bagi susunan biosensor throughput tinggi yang kompatibel dengan CMOS dan dapat mempercepat pengobatan yang dipersonalisasi, diagnostik cepat, dan penyimpanan data molekul.
• Pembuatan skala wafer dengan menggunakan litografi EUV atas wafer 300 mm pada nanopori sekecil ~10 nm dengan keseragaman tinggi di seluruh wafer. Proses pembuatan ini sangat mungkin mencapai ukuran pori di bawah 5nm dengan peningkatan lebih lanjut pada teknik integrasi proses. Karakterisasi transmisi listrik dan bio-molekuler menunjukkan rasio signal-to-noise yang tinggi sebesar 6,2.
• "Posisi Imec sangat unik dalam melakukan lompatan ini. Kami dapat menerapkan litografi EUV - yang biasanya untuk memori dan logika - bagi ilmu hayat. Dengan memanfaatkan infrastruktur litografi milik kami, kami menunjukkan bahwa nanopori padat dapat dibuat dalam skala besar dengan presisi yang dibutuhkan untuk penginderaan molekul," kata Ashesh Ray Chaudhuri, penulis pertama dan manajer proyek R&D di imec. "Langkah ini membuka kesempatan bagi biosensor throughput tinggi untuk perawatan kesehatan dan lainnya."

Tentang imec
Imec adalah pusat penelitian dan inovasi terkemuka di dunia di bidang teknologi semikonduktor canggih. Dengan memanfaatkan infrastruktur R&D yang canggih dan keahlian lebih dari 6.500 karyawan, imec mendorong inovasi semikonduktor dan peningkatan sistem, kecerdasan buatan, fotonik silikon, konektivitas, dan penginderaan.

Penelitian canggih oleh Imec mendukung terobosan di berbagai industri seperti komputasi, kesehatan, otomotif, energi, infotainment, industri, agrifood, dan keamanan. Melalui IC-Link, imec memandu berbagai perusahaan di setiap langkah proses chip - mulai dari konsep awal hingga manufaktur skala penuh - memberikan solusi khusus yang disesuaikan untuk memenuhi kebutuhan desain dan produksi tercanggih.

Imec bekerja sama dengan pemimpin global di seluruh rantai nilai semikonduktor, perusahaan teknologi, perusahaan rintisan, akademisi, dan lembaga penelitian di Flanders dan di seluruh dunia. Berkantor pusat di Leuven, Belgia, imec memiliki lokasi penelitian di Belgia, Eropa dan Amerika Serikat, serta perwakilan di tiga benua. imec melaporkan pendapatan sebesar €1,034 miliar pada tahun 2024. Untuk informasi lebih lanjut, kunjungi www.imec-int.com

Siaran pers lengkap: https://www.imec-int.com/en/press/imec-demonstrates-first-wafer-scale-fabrication-solid-state-nanopores-using-euv-lithography

SOURCE Imec