Společnost Imec předvedla první výrobu pevných nanopórů v měřítku waferu pomocí EUV litografie
Tento průlom umožňuje škálovatelné, vysoce přesné biosenzorické aplikace v oblasti biologických věd a zdravotnictví
LOVAŇ, Belgie, 9. prosince 2025 /PRNewswire/ --
- Společnost Imec dosáhla první úspěšné výroby pevných nanopórů v měřítku waferů pomocí EUV (extrémní ultrafialové) litografie na 300mm waferech (křemíkových destičkách). Tato inovace transformuje technologii nanopórů z laboratorního konceptu na škálovatelnou platformu pro biosenzory, genomiku a proteomiku.
- Nanopóry jsou oslavovány jako průlomové technologie pro genomiku a proteomiku, ale až dosud nebyly pevné nanopóry nikdy sériově vyráběny kvůli variabilitě a problémům s integrací. Průlom společnosti Imec otevírá cestu pro vysoce výkonná biosenzorová pole kompatibilní s CMOS (doplňkovým kovovým oxidovým polovodičem), která by mohla urychlit personalizovanou medicínu, rychlou diagnostiku a ukládání molekulárních dat.
- Výroba v měřítku waferů pomocí EUV litografie na 300mm waferech nanopórů o velikosti pouhých ~10 nm s vysokou uniformitou napříč waferem. Výrobní proces je slibný pro dosažení velikosti pórů pod 5 nm s dalšími vylepšeními, díky nimž se integrují metody. Charakterizace elektrické a biomolekulární translokace odhalila vysoký poměr signálu k šumu 6,2.
- „Imec má jedinečnou pozici k tomu, aby tento skok uskutečnil. Můžeme aplikovat EUV litografii – tradičně vyhrazenou pro paměti a logiku – na biologické vědy. Využitím naší litografické infrastruktury jsme ukázali, že pevné nanopóry lze vyrábět v měřítku s přesností potřebnou pro molekulární snímání," řekl Ashesh Ray Chaudhuri, první autor a projektový manažer výzkumu a vývoje v imec. „To otevírá dveře k vysokokapacitním biosenzorovým polím pro zdravotnictví a další oblasti."
O společnosti imec
Imec je přední světové výzkumné a inovační centrum v oblasti pokročilých polovodičových technologií. Díky své špičkové infrastruktuře pro výzkum a vývoj a odborným znalostem více než 6 500 zaměstnanců podporuje imec inovace v oblasti polovodičů a škálování systémů, umělé inteligence, křemíkové fotoniky, konektivity a senzorů.
Pokročilý výzkum společnosti imec přináší průlomové objevy v celé řadě odvětví, včetně výpočetní techniky, zdravotnictví, automobilového průmyslu, energetiky, infotainmentu (informací a zábavy), průmyslu, zemědělsko-potravinářského odvětví a bezpečnosti. Prostřednictvím IC-Link provází společnost imec firmy každým krokem vývoje čipů – od počátečního konceptu až po sériovou výrobu – a poskytuje jim řešení šitá na míru, která splňují nejnáročnější požadavky na design a výrobu.
Imec spolupracuje s globálními vedoucími podniky v celém hodnotovém řetězci polovodičů, stejně jako s technologickými společnostmi, start-upy, vědeckými a výzkumnými institucemi ve Flandrech a po celém světě. Imec má sídlo v belgické Lovani a výzkumná zařízení v Belgii, po celé Evropě a USA a zastoupení na třech kontinentech. V roce 2024 vykázal imec tržby ve výši 1,034 miliardy eur. Více informací najdete na www.imec-int.com
Plné znění tiskové zprávy: https://www.imec-int.com/en/press/imec-demonstrates-first-wafer-scale-fabrication-solid-state-nanopores-using-euv-lithography
Logo - https://mma.prnewswire.com/media/2839859/imec_Logo.jpg
Share this article