Imec montre la première fabrication à l'échelle d'une plaquette de silicium de nanopores à l'état solide par lithographie EUV
Une percée pour des applications de biodétection évolutives et de haute précision dans les sciences de la vie et les soins de santé
LEUVEN, Belgique, 9 déc. 2025 /PRNewswire/ --
- L'Imec a réussi pour la première fois à fabriquer des nanopores à l'état solide à l'échelle d'une plaquette en utilisant la lithographie EUV sur des plaquettes de 300 mm. Cette innovation fait passer la technologie des nanopores d'un concept à l'échelle du laboratoire à une plateforme évolutive pour la biodétection, la génomique et la protéomique.
- Les nanopores salués comme un changement des règles du jeu de la génomique et de la protéomique, mais jusqu'à présent, les nanopores à l'état solide n'ont jamais été produits en masse en raison des problèmes posés par leur variabilité et leur intégration. La percée de l'Imec ouvre la voie à des réseaux de biocapteurs à haut débit, compatibles avec le CMOS, qui pourraient accélérer la médecine personnalisée, les diagnostics rapides et le stockage des données moléculaires.
- Fabrication à l'échelle d'une plaquette par lithographie EUV sur des plaquettes de 300 mm de nanopores aussi petits que ~10 nm et d'une grande uniformité sur l'ensemble de la plaquette. Le processus de fabrication est prometteur pour l'obtention de pores d'une taille inférieure à 5 nm grâce à de nouvelles améliorations des techniques d'intégration des processus. La caractérisation de la translocation électrique et biomoléculaire a révélé un rapport signal/bruit élevé de 6,2.
- « L'Imec est particulièrement bien placé pour sauter le pas. Nous pouvons appliquer la lithographie EUV,traditionnellement réservée aux mémoires et à la logique, aux sciences de la vie. En exploitant notre infrastructure de lithographie, nous avons montré que les nanopores à l'état solide peuvent être fabriqués à l'échelle avec la précision nécessaire pour effectuer la détection moléculaire », a déclaré Ashesh Ray Chaudhuri, premier auteur et chef de projet R&D à l'Imec. « Cela ouvre la voie à des réseaux de biocapteurs à haut débit pour les soins de santé et plus encore ».
À propos de l'Imec
L'Imec est un centre de recherche et d'innovation de premier plan au niveau mondial dans le domaine des technologies avancées des semi-conducteurs. En s'appuyant sur son infrastructure de R&D de pointe et sur l'expertise de plus de 6 500 employés, l'Imec stimule l'innovation dans les domaines des semi-conducteurs et de la mise à l'échelle des systèmes, de l'intelligence artificielle, de la photonique du silicium, de la connectivité et de la détection.
La recherche de pointe de l'Imec est à l'origine de percées dans un large éventail de secteurs, notamment l'informatique, la santé, l'automobile, l'énergie, l'info-divertissement, l'industrie, l'agroalimentaire et la sécurité. Grâce à IC-Link, l'Imec guide les entreprises à chaque étape du parcours de la puce, du concept initial à la fabrication à grande échelle, en fournissant des solutions personnalisées adaptées aux besoins les plus avancés en matière de conception et de production.
L'Imec collabore avec des leaders mondiaux de la chaîne de valeur des semi-conducteurs, ainsi qu'avec des entreprises technologiques, des startups, des universités et des instituts de recherche en Flandre et dans le monde entier. Basée à Louvain, en Belgique, l'Imec dispose d'installations de recherche en Belgique, en Europe et aux États-Unis, avec une présence sur trois continents. En 2024, l'Imec a déclaré un chiffre d'affaire de 1 034 milliard d'euros. Pour plus d'informations, consultez le site www.imec-int.com
Communiqué de presse complet : https://www.imec-int.com/en/press/imec-demonstrates-first-wafer-scale-fabrication-solid-state-nanopores-using-euv-lithography
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