Imec demuestra la primera fabricación a escala de oblea de nanoporos de estado sólido usando litografía EUV
Un avance permite aplicaciones de biodetección escalables y de alta precisión en las ciencias biológicas y la atención médica.
LEUVEN, Bélgica, 9 de diciembre de 2025 /PRNewswire/ --
- Imec ha logrado la primera fabricación exitosa a escala de oblea de nanoporos de estado sólido mediante litografía UVE en obleas de 300 mm. Esta innovación transforma la tecnología de nanoporos de un concepto a escala de laboratorio en una plataforma escalable para biodetección, genómica y proteómica.
- Los nanoporos se consideran revolucionarios para la genómica y la proteómica, pero hasta ahora, los nanoporos de estado sólido nunca se habían producido en masa debido a la variabilidad y los desafíos de integración. El avance de Imec allana el camino para matrices de biosensores de alto rendimiento compatibles con CMOS que podrían acelerar la medicina personalizada, el diagnóstico rápido y el almacenamiento de datos moleculares.
- Fabricación a escala de oblea mediante litografía UVE en obleas de 300 mm con nanoporos de hasta ~10 nm, con alta uniformidad en toda la oblea. El proceso de fabricación es prometedor para lograr tamaños de poro inferiores a 5 nm, con mejoras adicionales en las técnicas de integración de procesos. La caracterización de la translocación eléctrica y biomolecular reveló una alta relación señal-ruido de 6,2.
- "Imec se encuentra en una posición privilegiada para dar este salto. Podemos aplicar la litografía UVE, tradicionalmente reservada para la memoria y la lógica, a las ciencias de la vida. Al aprovechar nuestra infraestructura litográfica, hemos demostrado que los nanoporos de estado sólido se pueden fabricar a gran escala con la precisión necesaria para la detección molecular", afirmó Ashesh Ray Chaudhuri, primer autor y director de proyectos de I+D en imec. "Esto abre la puerta a conjuntos de biosensores de alto rendimiento para la atención médica y otros sectores".
Acerca de imec
Imec es un centro líder mundial en investigación e innovación en tecnologías avanzadas de semiconductores. Gracias a su infraestructura de I+D de vanguardia y a la experiencia de más de 6.500 empleados, imec impulsa la innovación en semiconductores y escalado de sistemas, inteligencia artificial, fotónica de silicio, conectividad y detección.
La investigación avanzada de Imec impulsa avances en una amplia gama de sectores, como la informática, la salud, la automoción, la energía, el infoentretenimiento, la industria, la agroalimentación y la seguridad. A través de IC-Link, imec guía a las empresas en cada etapa del proceso de desarrollo de un chip, desde el concepto inicial hasta la fabricación a gran escala, ofreciendo soluciones personalizadas diseñadas para satisfacer las necesidades más avanzadas de diseño y producción.
Imec colabora con líderes globales en toda la cadena de valor de semiconductores, así como con empresas tecnológicas, emergentes, instituciones académicas e instituciones de investigación en Flandes y en todo el mundo. Con sede en Lovaina (Bélgica), imec cuenta con centros de investigación en Bélgica, Europa y EE. UU., y con representación en tres continentes. En 2024, imec registró unos ingresos de 1.034 millones de euros. Para más información, visite www.imec-int.com.
Comunicado de prensa completo: https://www.imec-int.com/en/press/imec-demonstrates-first-wafer-scale-fabrication-solid-state-nanopores-using-euv-lithography
Logo - https://mma.prnewswire.com/media/2839859/imec_Logo.jpg
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