Компания imec демонстрирует первое производство твердотельных нанопор в масштабе целых пластин с использованием литографии EUV
Этот прорыв обеспечивает масштабируемое, высокоточное биосенсорное применение в медико-биологической отрасли и здравоохранении
ЛЁВЕН, Бельгия, 9 декабря 2025 г. /PRNewswire/ --
- Компания imec достигла первого успешного производства твердотельных нанопор в масштабе целых пластин с использованием литографии EUV на 300-миллиметровых пластинах. Эта инновация превращает технологию нанопор из концепции лабораторного масштаба в масштабируемую платформу для использования в сфере биосенсоров, геномики и протеомики.
- Считается, что нанопоры коренным образом изменят ситуацию в сфере геномики и протеомики, но до сих пор твердотельные нанопоры никогда не производились массово из-за трудностей, связанных с вариативностью и интеграцией. Прорыв компании imec открывает путь для создания высокопроизводительных, CMOS-совместимых матриц биосенсоров, которые могут ускорить развитие персонализированной медицины, быстрой диагностики и хранения молекулярных данных.
- Производство в масштабе целых пластин с использованием литографии EUV на 300-миллиметровых пластинах нанопор размером от ~10 нм с высокой однородностью по всей пластине. Процесс производства демонстрирует перспективы достижения размеров нанопор меньше 5 нм с дальнейшими усовершенствованиями методов интеграции процессов. Определение характеристик электрической и биомолекулярной транслокации показало высокое отношение сигнал/шум на уровне 6,2.
- «Компания imec обладает уникальной способностью совершить этот скачок. Мы можем применить литографию EUV, традиционно использовавшуюся только для производства памяти и логических чипов, в области биомедицинских технологий. Используя нашу литографическую инфраструктуру, мы показали, что возможно масштабное производство твердотельных нанопор с точностью, необходимой для биосенсоров на молекулярном уровне», — сказал Ашеш Рэй Чаудхури (Ashesh Ray Chaudhuri), первый автор и руководитель проектов НИОКР в компании imec. — Это открывает возможность создания высокопроизводительных матриц биосенсоров для здравоохранения и других отраслей».
О компании imec
Компания imec является ведущим мировым исследовательским и инновационным центром в области передовых полупроводниковых технологий. Используя свою передовую инфраструктуру НИОКР, а также экспертные знания и опыт более чем 6500 сотрудников, компания imec развивает инновации в области масштабирования производства полупроводников и систем, искусственного интеллекта, кремниевой фотоники, связи и сенсоров.
Передовые исследования imec способствуют прорывам в широком спектре отраслей, включая вычислительную технику, здравоохранение, автомобилестроение, энергетику, информационно-развлекательную отрасль, производство, сельское хозяйство, пищевую промышленность и безопасность. С помощью IC-Link imec помогает компаниям на каждом этапе пути создания чипов — от первоначальной концепции до полномасштабного производства, — предлагая индивидуальные решения, адаптированные к самым передовым потребностям проектирования и производства.
Компания imec сотрудничает с мировыми лидерами на всех этапах цепочки создания ценности полупроводников, а также с технологическими компаниями, стартапами, научными учреждениями и исследовательскими институтами во Фландрии и во всем мире. Компания imec, штаб-квартира которой находится в Лёвене, Бельгия, имеет исследовательские центры в Бельгии, Европе и США, а также представительства на трех континентах. В 2024 году отчетный доход компании imec составил 1034 млрд евро. Для получения дополнительной информации посетите www.imec-int.com
Полный пресс-релиз: https://www.imec-int.com/en/press/imec-demonstrates-first-wafer-scale-fabrication-solid-state-nanopores-using-euv-lithography
Share this article