Imec predstavuje prvú výrobu pevnolátkových nanopórov na úrovni celej polovodičovej dosky s využitím EUV litografie
Prelom umožňuje škálovateľné a vysoko presné biosenzorické využitie v biologických vedách a zdravotníctve
LEUVEN, Belgicko, 9. december 2025 /PRNewswire/ –
- Spoločnosť imec dosiahla prvú úspešnú výrobu pevnolátkových nanopórov v mierke celej dosky s využitím EUV litografie na 300 mm polovodičových doskách. Táto inovácia prenáša technológiu nanopórov z konceptu v laboratórnom meradle do škálovateľnej platformy pre biosenzory, genomiku a proteomiku.
- Nanopóry sú oceňované ako prelomové prvky v genomike a proteomike, ale doteraz sa v pevnom skupenstve nikdy nevyrábali hromadne kvôli variabilite a problémom s integráciou. Tento prelom spoločnosti imec otvára cestu k vysokovýkonným biosenzorickým poliam kompatibilným s technológiou CMOS, ktoré by mohli urýchliť rozvoj personalizovanej medicíny, rýchlej diagnostiky a ukladania molekulárnych dát.
- Výroba v mierke celej dosky pomocou EUV litografie na 300 mm polovodičových doskách umožnila vznik nanopórov s veľkosťou len ~10 nm a vysokou uniformitou po celej ploche dosky. Výrobný proces navyše vykazuje potenciál dosiahnuť veľkosť pórov pod 5 nm vďaka ďalším vylepšeniam techník procesnej integrácie. Charakterizácia elektrických vlastností a biomolekulárnej translokácie preukázala vysoký pomer signálu k šumu na úrovni 6,2.
- „Imec má na dosiahnutie tohto skoku jedinečnú pozíciu. EUV litografiu – tradične vyhradenú pre pamäť a logiku – môžeme aplikovať na biologické vedy. Využitím našej litografickej infraštruktúry sme preukázali, že nanopóry v pevnom skupenstve je možné vyrobiť vo väčšej mierke s presnosťou potrebnou na molekulárne snímanie," povedal Ashesh Ray Chaudhuri, prvý autor a projektový manažér výskumu a vývoja v spoločnosti imec. „Tým sa otvárajú dvere k vysokovýkonným biosenzorickým poliam pre zdravotníctvo aj ďalšie oblasti."
O spoločnosti imec
Imec je popredné svetové centrum výskumu a inovácií v oblasti pokročilých polovodičových technológií. Vďaka svojej najmodernejšej infraštruktúre pre výskum a vývoj, ako aj odborným znalostiam viac ako 6500 zamestnancov spoločnosť imec podporuje inovácie v oblasti škálovania polovodičov a systémov, umelej inteligencie, kremíkovej fotoniky, konektivity a snímania.
Pokročilý výskum spoločnosti imec poháňa prelomové objavy v širokej škále odvetví vrátane výpočtovej techniky, zdravotníctva, automobilového priemyslu, energetiky, infotainmentu, priemyslu, agropotravinárstva a bezpečnosti. Prostredníctvom siete IC-Link sprevádza imec spoločnosti každým krokom vývoja čipu – od počiatočného konceptu až po plnohodnotnú výrobu – a poskytuje riešenia na mieru prispôsobené najpokročilejším potrebám v oblasti dizajnu a výroby.
Spoločnosť imec spolupracuje s globálnymi lídrami v rámci celého hodnotového reťazca polovodičov, ako aj s technologickými spoločnosťami, startupmi, akademickou obcou a výskumnými inštitúciami vo Flámsku a po celom svete. Spoločnosť imec so sídlom v belgickom Leuvene má výskumné zariadenia v Belgicku, po celej Európe a USA a zastúpenie na troch kontinentoch. V roku 2024 vykázala spoločnosť imec tržby vo výške 1,034 miliardy €. Viac informácií nájdete na stránke www.imec-int.com
Celá tlačová správa: https://www.imec-int.com/en/press/imec-demonstrates-first-wafer-scale-fabrication-solid-state-nanopores-using-euv-lithography
Share this article