PICOSUN™ P-300B eräajo-ALD-reaktorilla ennätystuloksia Fraunhofer IPMS:ssä

Feb 16, 2012, 08:00 ET from Picosun OY

ESPOO, Suomi, February 16, 2012 /PRNewswire/ --

Suomalainen, maailmanlaajuisesti toimiva huippuluokan atomikerroskasvatusjärjestelmien (ALD = Atomic Layer Deposition) valmistaja Picosun Oy on saavuttanut uuden virstanpylvään ALD-reaktorien suunnittelussa. Euroopan integroitujen piirien (IC) teollisuuden keskuksessa Dresdenissä, Saksassa toimivaan Fraunhofer IPMS:iin (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems) asennetulla PICOSUN™ P-300B ALD-eräajoreaktorilla on mitattu ennätysmäisen matalia partikkelipitoisuuksia, vain 1-2 partikkelia (> 70 nm) kiekolla. Myös prosessin toistettavuus ja kalvon epätasaisuus, ainoastaan 0,13 % 1σ parhaalle kiekolle, ovat huippuluokkaa. Puolijohde- ja IC-teollisuuden prosessien puhtausvaatimukset ovat maailman tiukimmat, ja Picosunin ALD-reaktorikonstruktiolla saavutetut tulokset asettavat täysin uudet laatustandardit koko ALD-järjestelmäteollisuudelle.

Fraunhofer IPMS tarjoaa, moderneine ja korkealuokkaisine puhdastilafasiliteetteineen, kokonaisvaltaista palvelua MEMS- ja MOEMS-teknologioiden kehittämiseen. Palvelut kattavat kaiken soveltuvuustutkimuksesta kokonaisiin tuotantoteknologioihin ja pilot-valmistukseen, mukaanlukien karakterisointi, kvalifiointi ja sopimusvalmistuspalvelut yksittäisille prosessivaiheille tai teknologiamoduleille.

"Olemme olleet äärimmäisen tyytyväisiä Picosunin ALD-reaktorin nopeaan toimitukseen, asennukseen ja erinomaiseen laatuun. Tehokkaalla eräajoprosessillaan Picosun täyttää tiukimmatkin defektitiheysvaatimuksemme", toteaa Dr. Tom Richter Fraunhofer IPMS:stä.

Suomesta käsin maailmanlaajuisesti toimiva Picosun Oy kehittää ja valmistaa huippuluokan ALD-järjestelmiä mikro- ja nanoteknologiateollisuuden tarpeisiin. Picosuniin kiteytyy paras tietotaito suomalaisen ALD-innovaation  alkuhetkistä lähtien. Tänä päivänä Picosun edustaa lähes neljän vuosikymmenen jatkuvaa, omistautunutta ja nousujohteista keskittymistä yksinomaisesti ALD-teknologiaan. Picosunin pääkonttori sijaitsee Espoossa, tuotantotilat Masalassa, Kirkkonummella, Yhdysvaltain pääkonttori Detroitissa, Michiganissa ja yrityksen ensimmäinen Aasian tytäryhtiö Picosun Asia Pte. Ltd. on juuri perustettu Singaporeen. PICOSUN™ ALD-järjestelmät ovat päivittäisessä tuotantokäytössä usealla eri teollisuuden alalla neljässä maanosassa.

SOURCE Picosun OY