PICOSUN™ P-300B eräajo-ALD-reaktorilla ennätystuloksia Fraunhofer IPMS:ssä

ESPOO, Suomi, February 16, 2012 /PRNewswire/ --

Suomalainen, maailmanlaajuisesti toimiva huippuluokan atomikerroskasvatusjärjestelmien (ALD = Atomic Layer Deposition) valmistaja Picosun Oy on saavuttanut uuden virstanpylvään ALD-reaktorien suunnittelussa. Euroopan integroitujen piirien (IC) teollisuuden keskuksessa Dresdenissä, Saksassa toimivaan Fraunhofer IPMS:iin (Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems) asennetulla PICOSUN™ P-300B ALD-eräajoreaktorilla on mitattu ennätysmäisen matalia partikkelipitoisuuksia, vain 1-2 partikkelia (> 70 nm) kiekolla. Myös prosessin toistettavuus ja kalvon epätasaisuus, ainoastaan 0,13 % 1σ parhaalle kiekolle, ovat huippuluokkaa. Puolijohde- ja IC-teollisuuden prosessien puhtausvaatimukset ovat maailman tiukimmat, ja Picosunin ALD-reaktorikonstruktiolla saavutetut tulokset asettavat täysin uudet laatustandardit koko ALD-järjestelmäteollisuudelle.

Fraunhofer IPMS tarjoaa, moderneine ja korkealuokkaisine puhdastilafasiliteetteineen, kokonaisvaltaista palvelua MEMS- ja MOEMS-teknologioiden kehittämiseen. Palvelut kattavat kaiken soveltuvuustutkimuksesta kokonaisiin tuotantoteknologioihin ja pilot-valmistukseen, mukaanlukien karakterisointi, kvalifiointi ja sopimusvalmistuspalvelut yksittäisille prosessivaiheille tai teknologiamoduleille.

"Olemme olleet äärimmäisen tyytyväisiä Picosunin ALD-reaktorin nopeaan toimitukseen, asennukseen ja erinomaiseen laatuun. Tehokkaalla eräajoprosessillaan Picosun täyttää tiukimmatkin defektitiheysvaatimuksemme", toteaa Dr. Tom Richter Fraunhofer IPMS:stä.

Suomesta käsin maailmanlaajuisesti toimiva Picosun Oy kehittää ja valmistaa huippuluokan ALD-järjestelmiä mikro- ja nanoteknologiateollisuuden tarpeisiin. Picosuniin kiteytyy paras tietotaito suomalaisen ALD-innovaation  alkuhetkistä lähtien. Tänä päivänä Picosun edustaa lähes neljän vuosikymmenen jatkuvaa, omistautunutta ja nousujohteista keskittymistä yksinomaisesti ALD-teknologiaan. Picosunin pääkonttori sijaitsee Espoossa, tuotantotilat Masalassa, Kirkkonummella, Yhdysvaltain pääkonttori Detroitissa, Michiganissa ja yrityksen ensimmäinen Aasian tytäryhtiö Picosun Asia Pte. Ltd. on juuri perustettu Singaporeen. PICOSUN™ ALD-järjestelmät ovat päivittäisessä tuotantokäytössä usealla eri teollisuuden alalla neljässä maanosassa.

SOURCE Picosun OY



More by this Source


Custom Packages

Browse our custom packages or build your own to meet your unique communications needs.

Start today.

 

PR Newswire Membership

Fill out a PR Newswire membership form or contact us at (888) 776-0942.

Learn about PR Newswire services

Request more information about PR Newswire products and services or call us at (888) 776-0942.